近来,中国电科九一切了新打破!实现从器材规划到资料制备等多项关键技能的打破,研发出高性能的
MEMS磁通门传感器作为一种高精度弱磁场传感器,可以感应到外界弱小的直流或低频磁场,被大范围的应用于定位盯梢、航空航天、地磁勘探和电流检测等范畴,且长期以来依靠进口。
九所技能团队瞄准微型化集成、薄膜磁心资料、MEMS制备工艺、测验优化计划等方面,继续立异打破,成功研发高性能MEMS磁通门传感器。
未来,技能团队将逐渐优化其结构、制造流程与工艺、磁心资料、电路匹配,使MEMS磁通门传感器不仅能满意各种场合对小尺度、高精度、低功耗、高鲁棒性等的要求,还可以彻底满意高集成度、高匹配性、低成本的要求,为各范畴的磁丈量供给新的解决计划。
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