MEMS传感器是MEMS技术的一个应用，它们是利用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。这些传感器通常具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高等特点，适合批量化生产，并且易于集成和实现智能化。MEMS传感器能用于检测各种物理量，如压力、加速度、温度、湿度、光学特性等，大范围的应用于汽车、医疗、消费电子、工业自动化等领域。
作为MEMS传感器的重要分类，MEMS惯性传感器(Micro-Electro-Mechanical Systems Inertial Sensor)是一种利用微纳技术制造的微型惯性传感器，大多数都用在测量物体的加速度和角速度。它大范围的应用于惯性导航、运动控制、姿态稳定等领域，其主要分类如下：
按MEMS惯性传感器的不同精度来看，低精度MEMS传感器主要使用在于消费电子领域，中精度MEMS传感器主要使用在于汽车行业，高精度MEMS惯性传感器主要使用在于航天和国防领域。
根据IC insight，2023年全球惯性传感器出货结构中，47.0%为加速计，8.4%为陀螺仪，44.6%为IMU。近年来，独立的MEMS陀螺仪在高端消费电子和汽车电子市场中逐渐被IMU所替代，因此IMU占比相比过去有所提升。
惯性传感器相对而言技术难度较高，全球市场的供应商就非常有限且集中，全球前四大厂商意法半导体、InvenSense、博世和AKM占据了70%左右的市场占有率。目前国内MEMS惯性传感器公司有星网宇达、深迪半导体(上海)、美新半导体(无锡)、矽睿科技、耐威科技、明皜传感等等，但是国内公司在营业规模、技术水平、产品结构方面与国外相比存在很明显差距，国内MEMS惯性传感器公司规模还比较小，单个企业较少有年销售额超过1亿美金。
消费类市场仍是惯性MEMS器件最大的细分市场，但是价格压力巨大，竞争也是很激烈，但随只能汽车产业的发展，其在汽车领域的应用市场将会很快超越消费电子。根据ICWISE的数据，中国MEMS惯性传感器市场规模由2018年的45.7亿元增至2023年的85.6亿元。随着无人驾驶加快速度进行发展，高精度定位导航需求牵引与当下汽车市场销量兴旺趋势下，MEMS惯性传感器(陀螺仪)刚需爆发，预计中国惯性传感器市场仍以较快的增速增长，前瞻初步统计，2024年中国MEMS惯性传感器市场规模接近97亿元。
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